KAIMA GUQMB
大型基板対応ユニバーサル検査装置
・ユニバーサル手動機
・QD格子(50mil)、DD格子(70mil)
・高信頼性300V/100MΩ検査
・X-Y微調整機能付（数値入力式）
・MILLENNIUM、ECO-5治具
・あらゆる検査フォーマットに適合
KAIMA GUQAA
全自動ユニバーサル検査装置
・QD格子(50mil)、DD格子(70mil)
・高信頼性300V/100MΩ検査
・X-Y微調整機能付（数値入力式）
・全自動、セミオート、手動モード
・高剛性フレーム
・優れたスループット
・MILLENNIUM、ECO-5治具
・あらゆる検査フォーマットに適合
KAIMA GUECAA
CCDカメラ付全自動ユニバーサル検査装置
・QD格子(50mil)、OD格子(35mil)
・CCDカメラアライメント
・高信頼性300V/100MΩ検査
・X-Y微調整機能付（数値入力式）
・全自動、セミオート、手動モード
・高剛性フレーム
・優れたスループット
・MILLENNIUM、ECO-5治具
・あらゆる検査フォーマットに適合
